驗(yàn)室已有的氮?dú)饨涌凇?/div>
3、氮?dú)馄康慕涌?，這種接口是箍橡皮管，需要換成找轉(zhuǎn)接頭接上
旋涂儀的6mm的白色塑料管。
4、充氮?dú)饣蛘吒稍锟諝獾膲毫π枰?0~70 PSI
5、按“START”鍵啟動程序，直到完成；
6、依次關(guān)閉真空泵、氮?dú)夂?a target="_blank" class="autolink">勻膠機(jī)開關(guān)；
二、注意事項(xiàng)
注意事項(xiàng)，防止膠水進(jìn)入Chuck的孔中、氮?dú)鈮翰豢蛇^大（細(xì)調(diào)到NEED CDA消失即可）、片子尺寸較大時(shí)旋轉(zhuǎn)速度不能太快（以防飛片）等注意事項(xiàng)：在操作該設(shè)備時(shí)，請根據(jù)指示，勿將試劑、溶液、粉狀物等異物吸入承載基片下的真空通道，保持基片底座和真空通道周邊部位清潔、干燥。
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