時(shí)間： 2018-04-17 16:45:40 點(diǎn)擊：
1.開機(jī)前準(zhǔn)備
(1)用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.
(2)a.選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b.將吸盤裝上(將吸盤缺口處對(duì)準(zhǔn)軸心之插梢位置).
c.將樣品放在吸盤上(啟動(dòng)前請(qǐng)確定樣品放在吸盤正中央的位置).※不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.開機(jī)&設(shè)定
(1)a.將"POWER"開關(guān)打開.
b.將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機(jī)臺(tái)將無法操作).
(2)設(shè)定涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速:Step I Timer I:2~18 Sec Speed I:500~2500R.P.M.Step II Timer II:3~60 Sec Speed II:1000~8000R.P.M.
(3)打開真空幫浦開關(guān),并將"VACUUM"按鈕壓下此時(shí)開始抽真空吸附樣品.啟動(dòng)"START"前,請(qǐng)確認(rèn)涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速是否已設(shè)定完成.
(4)將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發(fā)生.
(5)壓下"START"按鈕,此時(shí)機(jī)臺(tái)開始依步驟(4)的設(shè)定條件依Step I,Step II的順序開始涂布樣品.
(6)待時(shí)間完畢后,機(jī)臺(tái)隨即停止運(yùn)轉(zhuǎn),完成涂布的動(dòng)作.
3.關(guān)機(jī)
(1)將"VACUUM"關(guān)閉,并將真空幫浦關(guān)閉,取下完成樣品.
(2)將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關(guān)關(guān)閉.PS.此機(jī)臺(tái)有預(yù)留廢液回收口,可將多余廢液排出.
